Лабораторія
КОМПЛЕКС СКАНУЮЧОЇ ЗОНДОВОЇ МІКРОСКОПІЇ

• скануючий зондовий мікроскоп NanoScope IIIa Dimension 3000^тм (Bruker Corp.);

• оптичний мікроскоп NU-2E (Carl Zeiss);

Можливості:

• атомно-силова мікроскопія і спектроскопія;

• магнітна та електростатична мікроскопія;

• силова Кельвін-зонд мікроскопія;

• провідна та ємнісна мікроскопія (картографування та локальні ВАХ і ВФХ);

• наноіндентування і картографування пружних властивостей поверхонь;

• нанотрібологія та зносостійкість;

• елементи нанолітографії (механічна та електрична) і наноманіпуляцій;

розмір об’єму сканування 100х100х4,5 мкм, максимальний діаметр зразків 200 мм, висота 15 мм;
чутливість поверхневого потенціалу 0,1 мВ;
діапазон струмів провідної АСМ від 1 пА до 1 мкА, напруги зміщення в діапазоні +/- 12 В;
чутливість ємнісної мікроскопії 10^-22Ф/Гц^0,5, амплітуда змінної напруги від 0,1 до 15 В, частота від 5 до 100 кГц.
діапазон навантажень при індентуваннві від одиниць нН до сотень мкН;

• набір методів цифрової оптичної мікроскопії, у тому числі стекова мікроскопія динамічного фокусу та фотограмметрія;

• атестовані метрологічні вимірювання геометрії елементів поверхонь мікронних, нанометрових та субнанометрових розмірів;